[10p-N221-1~6] 15.1 Bulk crystal growth

[10p-N221-2] [INVITED] Development of measurement and analysis techniques in the interfacial reaction field by space-time division x-ray photoelectron spectroscopy

〇Satoshi Toyoda¹ (1.NICHe, Tohoku Univ.)

Keywords:X-ray photoelectron spectroscopy, interfacial reaction, spatio-temporal measurement

時空間分割X線光電子分光計測技術の将来的な発展を見越し、バルク結晶中などの界面反応場を解析するためのソフトウェア技術を開発した。様々な元素種で構成される多層積層膜界面における界面酸化/還元と表面電極エッチング/成長過程が同時に起きている状況をシミュレーションにより検証するとともに、機械学習の分野で知られるベイズ最適化を実装し、次の実験条件を多次元パラメータ空間上で推定できるようにした。