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[10p-N221-6] Crystal growth of Cu single crystal by CZ technique using partition in the crucible
Keywords:Cu crystal, metal single crystal, crystal growth
Cuはグラフェン用基板として注目され、高品質かつ大面積エピタキシャル基板が要求されるようになってきた。これまでCZ法での大口径化が困難であったが、今回、二重坩堝式CZ法を応用し、直径2インチサイズの単結晶作成に成功した。