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△ [10p-N303-10] 【注目講演】Tb添加AlxGa1-xNの有機金属気相エピタキシャル成長と発光特性
キーワード:半導体、フォトルミネッセンス、希土類
Tb3+は4f殻内遷移に起因する発光線幅の狭い緑色光を示し、その発光波長は電流注入量や動作時の温度変化に対し、極めて高い安定性を有することが知られている。しかしながら、有機金属気相エピタキシャル(OMVPE)法により成長したTb添加GaN膜では、室温下でのTb発光が極めて微弱なのが現状である。本研究では、OMVPE法によりTb添加AlGaN膜を成長し、室温において極めて明瞭なTb発光を確認したので報告する。