[10p-N305-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[10p-N305-10] フェムト秒レーザー誘起音を利用したレーザー焦点位置の適応的制御

〇(M1)三浦 拓真¹、熊谷 幸汰¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大オプティクス)

キーワード：フェムト秒レーザー、音、レーザー加工

フェムト秒レーザー加工において，ターゲットに対する適切な焦点位置の決定は，加工の品質やスループットを向上するために重要である．
本研究では，フェムト秒レーザーのターゲットへの集光照射により誘起される音を手掛かりとしてレーザー加工における集光位置の制御を目指す．空気/ターゲット界面と集光点との位置関係に対する音圧の関係や加工状態と音圧の関係を明らかにし，レーザー加工における焦点位置の制御を行う．