[10p-N307-1~14] 7.1 X線技術

[10p-N307-5] Fe L 発光対応高刻線密度ラミナー型 W/C 多層膜回折格子の開発

〇羽多野 忠^1,2、小池 雅人^2,3,4、ピロジコフ アレキサンダー³、垣尾 翼⁵、林 信和⁵、笹井 浩行⁵、長野 哲也⁵、寺内 正己² (1.東北大SRIS、2.東北大多元研、3.量研量子ビーム、4.大阪市大工、5.島津製作所デバイス部)

キーワード：回折格子、回折効率、多層膜

軟Ｘ線分光用としては高刻線密度の 3200本/mm のラミナー型回折格子基板に C (6.84 nm)/W (4.56 nm) の３周期多層膜と C 3.0 nm キャップ層を連続してコートして Photon Factory の BL-11D で回折効率を測定した。測定入射角は設計値である 86.0° とシャドー効果で谷部分の寄与がなくなる 88.0° とした。回折効率は設計エネルギーの 705 eV 付近で 6.8% の最大値を取り、報告済みの 2400 本/mm W/C 多層膜回折格子での実測値 7.1% と遜色ない結果が得られた。