2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[10p-N321-1~3] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

2021年9月10日(金) 13:00 〜 13:45 N321 (口頭)

宇野 和行(和歌山大)

13:00 〜 13:15

[10p-N321-1] 原子層堆積法によるAl2O3/ZnO/Al2O3構造の薄膜成長

今井 悠真1、小林 舜1、居波 渉1、中村 篤志1 (1.静大院工)

キーワード:原子層堆積法(ALD)、酸化亜鉛