[10p-N401-1~10] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[10p-N401-3] Development of a spherical electron source with amorphous carbon coating

〇Ryohei Tsuruta¹, Yusuke Hyuga¹, Reiya Furusawa¹, Masahiro Sasaki¹, Soichiro Matsunaga^2,3, Yoichi Yamada¹ (1.Univ. Tsukuba, 2.Hitachi Ltd., 3.Hitachi High-Tech Co.)

Keywords:electron source, field emission

走査電子顕微鏡の高い空間分解能を実現するため、用いられる電子源の高輝度化、エネルギー分散の低減が求められている。最近では光源先端をファセットのない球面構造にすることで高輝度化が期待できる球面電子源が注目されている。本研究ではアモルファス炭素被覆により、球面電子源を作製した。この炭素被覆電子源の電子放出特性計測を行い、安定した放出電流とエネルギー分布を持つことが明らかとなったので報告する。