[10p-N401-1~10] 7.2 電子ビーム応用

[10p-N401-5] 転写モールド法微小突起型陰極アレイの紫外線発光特性の評価

〇文 宗鉉¹、清水 皓介¹ (1.静岡大電研)

キーワード：転写モールド法エミッタアレイ、誘電体バリア放電

陰極表面形状を微小突起型にすることにより高効率・高発光強度紫外線源の実現を目指している。表面の微細加工には、先端の先鋭性、形状の均一性、再現性、材料の選択性に優れる転写モールドエミッタアレイの作製方法を利用した。転写モールド法微小突起型陰極アレイの突起のサイズによる誘電体バリア放電特性及び誘電体バリア放電による紫外線発光特性を評価した。