[10p-N402-1~10] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[10p-N402-6] 小型イオンマイクロビーム装置用のデュオプラズマトロン型イオン源のイオン種分析

〇石井 保行¹、大久保 猛¹ (1.量研高崎)

キーワード：デュオプラズマトロン型イオン源、イオン種分析、小型イオンマイクロビーム装置

MeV級イオンマイクロビーム装置の開発を進めており、そのプロトタイプとして最大100keVの小型イオンマイクロビーム装置（pIMB）を開発している。この中でpIBMに搭載されているものと同じデュオプラズマトロン型イオン源から水素イオンビームを発生させてイオン種分析の研究を行った。講演では、イオン種分析の結果を基に、水素イオンの発生の時間的変化やその発生割合に関して発表する。