[10p-S203-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-S203-13] 樹脂基板上全固体アモルファス薄膜リチウムイオン電池の作製

〇吉田 将康¹、辻 健太¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：アモルファス薄膜、全固体リチウムイオン電池、スパッタ

本研究では、室温において、正極、電解質、負極としてそれぞれLi₃PO₄添加V₂O₅、LiPON、Siアモルファス薄膜から構成される全固体薄膜リチウムイオン電池(TF-LIBs)をガラス基板上とポリイミド（PI）樹脂基板上にRFスパッタ法で作製し、その充放電特性およびサイクル特性を評価した。