[10p-S203-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-S203-17] 可視光透過型CO2センサの感度向上に向けたリアクティブスパッタによるSnO2薄膜制御

〇前田 拓人¹、荒井 雄太¹、杉山 睦^1,2 (1.東理大　理工、2.東理大　総研)

キーワード：CO2センサ、SnO2薄膜、リアクティブスパッタ