[11a-N301-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[11a-N301-5] ジュール熱の外部変調を利用した非接触型抵抗原子間力顕微鏡法

〇(DC)福澤 亮太¹、梁 剣波³、重川 直輝³、高橋 琢二^1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構、3.大阪市大工)

キーワード：エネルギー散逸、抵抗測定、静電気力顕微鏡

周波数変調型原子間力顕微鏡では、探針振動によって生じたジュール熱量は試料の抵抗値に依存するが、このようなジュール熱量から抵抗値を見積もるには、ジュール熱の抵抗値依存性を明らかにする必要がある。今回、シミュレーションを行ったところ、低抵抗領域ではジュール熱は抵抗値に対して比例することが分かった。さらに、このような線形領域において、半導体試料に対しても成り立つ関係式を導き、定量的に抵抗値を画像化することに成功した。