[11a-N401-1~5] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[11a-N401-1] 対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証

〇堀内 敏行¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大工)

キーワード：立体面投影露光、放物面ミラー、露光装置

対向放物面ミラーを用いた立体投影露光の検討用に、当該のミラー光学系を用いて平面レチクル上のパターンをSiウエハ面に投影露光転写するプロトタイプ露光装置を設計製作した。本装置は別途設計製作中の立体面投影露光装置の設計データを得る目的も有している。このプロトタイプ露光装置の概要を示すとともに、線幅200µmの1:1ライン&スペースレジストパターンが実際に形成できたことを報告する。