[11a-N401-1~5] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [11a-N401-3] ナノパターンポリマー基板上におけるリン酸 Ca 系薄膜の初期成長過程

〇(M2)金子 奈帆¹、前田 優斗¹、大賀 友瑛¹、林 智広¹、Mondarte Evan Angelo¹、金子 智^2,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：熱ナノインプリント、周期的ナノパターン、初期成長

ポリマー基板上における生体適合性セラミックスのナノ構造制御を目的として、熱ナノインプリント法によりナノパターンを転写した基板上へのリン酸Ca系薄膜の初期成長について検討した。