[11p-N101-1~12] 【一般公開】赤﨑勇先生追悼シンポジウム

[11p-N101-9] GaNパワートランジスタの進化

〇橋詰 保¹ (1.北大量集センター)

キーワード：GaN、トランジスタ

LED・LD応用がGaNの主流ではあるが、トランジスタ応用も非常に魅力的である。1993年にAlGaN/GaN高電子移動度トランジスタ（HEMT）の報告がされて以来、動作周波数、動作電圧、パワー密度などの進化が続いている。また近年、インバータ等の電力変換応用のために、縦型MOSトランジスタがめざましい進展を見せており、これらのデバイス研究を概説する。