[11p-N107-1~16] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

△ [11p-N107-15] 機械学習による結晶方位推定における訓練データ最適化と誤差分析

〇(M1)原 京花¹、小島 拓人²、沓掛 健太朗³、工藤 博章²、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.名大院情報、3.理研AIP)

キーワード：機械学習、多結晶シリコン、結晶方位

機械学習による多結晶組織の結晶方位推定について、データ最適化と結果の統計的分析により高精度化を実現した。ニューラルネットワークの入力データを多様化するため、入力データの取得法を変化させ、その結果を分析することにより最適な入力データを探索した。これにより結晶方位推定の推定誤差を15%程度改善した。