[11p-N301-1~8] 多様化する圧電材料研究 ～センサー、アクチュエーターから5G、IoTまで～

[11p-N301-5] Si基板上エピタキシャル(K, Na)NbO₃薄膜の圧電応答の非対称性

〇河田 佳之¹、田中 清高¹、權 相暁¹、譚 賡²、神野 伊策¹ (1.神戸大工、2.大阪府立大)

キーワード：KNN、エピタキシャル、圧電薄膜

本研究では、スパッタ法で作製したSi基板上エピタキシャルKNN薄膜について、圧電特性の分極依存性を調べた。作製したKNN薄膜の圧電応答は印加電圧の極性に対して非対称であり、下向きの分極方向で安定で高い圧電特性が確認できた。