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[11p-N304-2] Avalanche amplification of mesh-electrode Mg2Si-PD at low temperature
Keywords:semiconductor, Mg2Si, photodiode
我々は安価で大量普及可能なMg2Si- pn接合フォトダイオード(PD)の開発を進めている。最近メッシュ電極Mg2Si PDの感度について検討を進めており、前回は、メッシュ状電極Mg2Si PDに逆バイアスを印加することにより室温でも大幅な受光感度向上ができることを報告した。今回、同メッシュ状電極Mg2Si PDの低温下における感度の逆バイアス依存性を評価したところ、アバランシェ増幅によると見られる顕著な感度の増幅が低温の逆バイアス下で見られたので報告する。