[11p-S202-1~10] 3.5 レーザー装置・材料

△ [11p-S202-6] 位相グレーティングと空間周波数フィルタリングを用いた六角形フラットトップビーム整形

〇(M1)平川 裕人¹、小坂 悠起²、椿本 孝治¹、白神 宏之¹、中田 芳樹¹ (1.大阪大学、2.日揮グローバル)

キーワード：ビーム整形、位相グレーティング、空間周波数フィルタリング

レーザーの干渉パターン加工法やレーザーアニーリング、皮膚治療などでは、フルエンス分布が均一なビームが必要とされている。我々は空間光位相変調器及び光学系を用いたビーム整形法において、空間周波数フィルタリングを最適化する事で整形精度を格段に向上させる事に成功した。本発表では、マルチショットを用いた大面積加工時に有効な、六角形フラットトップビームを形成した結果を報告する。