[11p-S401-1~18] 1.6 超音波

△ [11p-S401-15] 水晶同種接合構造上の縦型漏洩弾性表面波の解析

〇藤井 雄大¹、藤巻 貴海¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大)

キーワード：水晶、弾性表面波、同種材料接合

伝搬方位の異なるX-cut Qz同士を接合させた構造上の縦型漏洩弾性表面波(LLSAW)の伝搬特性と共振特性を解析した． X176.5°Y-Qz/X41°Y-Qz接合構造上を用いることで低い伝搬減衰や単体と比較して約50倍のK²と1/7のTCF を見出した． Al膜厚と薄板板厚を最適化したときX-cut Qz同士の接合構造を用いると水晶単体では成し得ない大きなアドミタンス比やQ値を示すLLSAWが現れることを明らかにした.