[11p-S401-1~18] 1.6 Ultrasonics

[11p-S401-7] Development of 10cm Portable Ball SAW Gas Chromatograph for Analysis of Multiple Gases

〇Takamitsu Iwaya¹, Shingo Akao¹, Kazushi Yamanaka¹, Tatsuhiro Okano¹, Nobuo Takeda¹, Yusuke Tsukahara¹, Toru Oizuimi¹, Hideyuki Fukushi¹, Maki Sugawara¹, Toshihiro Tsuji¹, Tomoki Tanaka¹, Akinobu Takeda¹, Asuka Shima², Satoshi Matsumoto², Haruna Sugahara², Takeshi Hoshino², Tetsuya Sakashita² (1.Ball ave Inc., 2.JAXA)

Keywords:surface acoustic wave, ball SAW sensor, gas chromatogaraph

宇宙探査における月・惑星・小天体の表面その場分析や有人宇宙滞在環境測定などで、多種類の揮発性ガスを分析できる可搬型ガスクロマトグラフ(GC)が求められている。本研究は、球状素子の多重周回する弾性表面波(SAW)を利用したボールSAWセンサとステンレス板のエッチングと拡散接合により小型化したメタルMEMSカラムを用いて、サンプラーや濃縮器、カラム温度制御など既存の卓上GCと同等の機能を有する10 cm角762gの可搬型のボールSAW GCを開発した。