[12a-N106-1~9] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [12a-N106-7] 次世代VLSI配線の熱制御に向けたRu/TaN/Si化学結合状態の評価

〇佐原 敬太¹、横川 凌^1,2、西原 達平¹、澤本 直美^1,2、詹 天卓^3,4、渡邉 孝信³、小椋 厚志^1,2 (1.明治大学、2.明大MREL、3.早稲田大学、4.東洋大学)

キーワード：熱伝導