[12a-N301-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [12a-N301-10] Effect of film thickness on the vibration characteristics and energy harvesting property for hydrothermally synthesized (K,Na)NbO₃ films

〇(D)Akinori Tateyama¹, Yoshiharu Ito^1,2, Takahisa Shiraishi¹, Yuichiro Orino¹, Minoru Kurosawa¹, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Tech., 2.Nihon univ.)

Keywords:Piezoelectric, Hydrothermal synthesis, KNN

我々は水熱合成法で作製した(K,Na)NbO3膜の圧電特性を報告してきた。水熱合成法は低温製膜のため、製膜時の熱歪が少なく、幅広い膜厚範囲の配向膜を作製可能である。本発表では水熱合成法で作製した膜を用いて片持ち梁のたわみ振動発電素子と中央保持の縦振動子を作製し、加振した際の発電特性と電圧を印加した際の振動特性の膜厚依存性を評価したので報告する。