[12a-N301-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [12a-N301-10] 水熱合成法で作製した(K,Na)NbO₃厚膜の振動特性及び発電特性の膜厚依存性

〇(D)舘山 明紀¹、伊東 良晴^1,2、白石 貴久¹、折野 裕一郎¹、黒澤 実¹、舟窪 浩¹ (1.東工大、2.日大)

キーワード：圧電体、水熱合成、KNN

我々は水熱合成法で作製した(K,Na)NbO3膜の圧電特性を報告してきた。水熱合成法は低温製膜のため、製膜時の熱歪が少なく、幅広い膜厚範囲の配向膜を作製可能である。本発表では水熱合成法で作製した膜を用いて片持ち梁のたわみ振動発電素子と中央保持の縦振動子を作製し、加振した際の発電特性と電圧を印加した際の振動特性の膜厚依存性を評価したので報告する。