[12a-N301-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[12a-N301-4] スパッタ条件がAl_1-xSc_xN薄膜の内部応力に及ぼす影響

〇宮地 航平¹、吉村 武¹、萩原 拓永¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：AlScN、内部応力

近年、Al_1-xSc_xN(AlScN)薄膜は、圧電定数の増加や強誘電性の発現が報告され注目されている。これらの特性は、Sc置換によるc/a比の変化によって得られたものであり 、AlScN薄膜における格子歪と特性との関係を明らかにしていくことは重要である。またAlN薄膜ではスパッタ条件によって内部応力が変化することが知られており、AlScN薄膜においてはSc置換の効果とスパッタ条件の両方がc/a比に影響を及ぼすと考えられる。そこで本研究では、RF マグネトロンスパッタ法を用いて、プラズマ状態がAlScN 薄膜の内部応力におよぼす影響について調べた。