[12a-N301-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

[12a-N301-6] Effect of Fabrication Solvents on the Electrical Properties of P(VDF-TrFE) Thin Films

〇Kazuki Hiratsuka¹, Takeshi Yoshimura¹, Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref Univ.)

Keywords:piezoelectric, PVDF

有機強誘電体P(VDF-TrFE)は、優れた圧電特性や焦電特性を有することで知られており、その柔軟性や低い誘電率から、エナジーハーベスタやセンサ応用への期待が高まっている。我々は、P(VDF-TrFE)薄膜を用いた圧電MEMS超音波トランスデューサー(pMUT)の開発を目指している。本研究では、P(VDF-TrFE)薄膜を作製する際の条件が、P(VDF-TrFE)の微構造や電気特性に及ぼす影響を明らかにすることを目的としている。