[12a-N402-1~11] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[12a-N402-7] 強誘電体基板上の高配向V₃Si薄膜成長

〇(M1)浅尾 拓斗¹、山田 道洋^2,3、白土 優^4,3、阿保 智¹、真砂 啓³、中谷 亮一^4,3、小口 多美夫³、浜屋 宏平^3,1 (1.阪大基礎工、2.JST さきがけ、3.阪大基礎工 CSRN、4.阪大工)

キーワード：超伝導、強誘電体