[12a-S301-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[12a-S301-9] FIB加工を用いた走査ダイヤモンドNV中心プローブの開発

〇(DC)貝沼 雄太¹、林 都隆¹、舘岡 千椰佳¹、出口 碧惟¹、安 東秀¹ (1.北陸先端大)

キーワード：NV中心、磁気イメージング、走査プローブ顕微鏡

ダイヤモンド中のNV(nitrogen-vacancy)中心は、格子欠陥であり、優れた磁場感度とナノスケールの空間分解能を有する磁気センサとして応用されている。我々はtypeⅡaのダイヤモンドを用いてFIB(focused ion beam)加工により、走査ダイヤモンドNV中心プローブを作成し、磁気テープのイメージングに成功した。今回、空間分解能向上のため、electronic gradeダイヤモンド基板の表面近傍にNV中心を生成し、空間分解能および磁場感度の向上について報告する。