10:30 AM - 10:45 AM
[12a-S401-5] Characteristics of Pd/Pt/GeO/Ge diode hydrogen gas sensor with various Pt thickness
Keywords:hydrogen, germanium, platinum
水素と反応することで仕事関数が減少するパラジウム(Pd)の特性を用いたPd/GeO/Geダイオード型水素ガスセンサの研究をおこなっている[1,2]．電極として用いているPdは水素を解離，吸蔵する性質を持っており，この水素ガスセンサでは両方の性質を利用している．ダイオードの界面に水素を解離する性質を持たないAu薄膜を挿入した場合でも水素感度があり，電極表面で水素を解離できれば内部への水素の拡散には必ずしもPdが必須ではない[2]．Au以外の別の金属を挿入した場合でも水素感度が得られると考えられる．Pd/Ge界面に化学的に安定な白金(Pt)を挿入した，Pd/Pt/GeO/Geダイオード型水素ガスセンサの特性について報告する．