[12p-N102-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [12p-N102-1] 局在水素プラズマによるナノポーラス銀表面形成における希ガス希釈の影響

〇(M2)関戸 拓郎¹、安東 卓洋¹、垣内 弘章¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：ナノポーラス銀、水素プラズマ、希ガス