[12p-N102-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [12p-N102-10] 窒素プラズマ援用化学輸送法による窒化炭素膜の形成

〇中塚 宏学¹、田中 領¹、垣内 弘章¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ、窒化炭素膜、化学輸送