2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-N102-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2021年9月12日(日) 13:30 〜 17:30 N102 (口頭)

竹中 弘祐(阪大)、近藤 博基(名大)

14:00 〜 14:15

[12p-N102-3] 大気圧プラズマを用いたシクロオレフィンポリマーの表面処理

〇(M1)真鍋 義人1、今中 海舟1、白藤 立1、呉 準席1 (1.大市大工)

キーワード:シクロオレフィンポリマー、親水性、表面処理

近年臨床検査の分野でその場で同時に多数の検査が可能なデバイスとしてマイクロ流路チップが注目されている. チップの素材として適した特性を持つシクロオレフィンポリマー COPは疎水性のため同素材同士の接着は困難であるので, 本報告では真空装置を用いずかつ低温で処理することの出来る大気圧低温プラズマを用いた材料表面の親水化処理を目指す.