[12p-N103-1~16] 3.10 光量子物理・技術

[12p-N103-4] 自由空間型線形光学回路のオンチップ集積化に関する検討

石川 巧¹、稲垣 拓也¹、菊地 涼¹、土師 康平¹、山田 博仁¹、〇松田 信幸^1,2 (1.東北大院工、2.東北大高等研究機構)

キーワード：シリコンフォトニクス、深堀エッチング