[12p-N203-1~12] 6.4 Thin films and New materials

[12p-N203-11] Color Change Associated with Atmospheric Chemical Vapor Deposition Technique-Al₂O₃ Films in Annealing

〇Hidemichi Honda¹, Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech.)

Keywords:Amorphous Al2O3, Chromaticity Measuring, Atmospheric Chemical Vapor Deposition

大気開放型CVD法を用いて、Al(acac)₃を原料に製膜した時、多結晶Al₂O₃基板上に茶色の平滑なアモルファスAl₂O₃膜が作製できる。色の定量的な評価には一般に色度計が用いられ、L*u*v*表色系等を用いて色差等が比較される。L*u*v*表色系ではL*は明度、u*v*は白色照明光源の座標を原点として、物体の色度評価が可能となる。大気開放型CVD法により多結晶Al₂O₃基板上に作製したアモルファスAl₂O₃膜と、これを大気雰囲気下でアニールした試料について、色度評価を行った。