[12p-N203-1~12] 6.4 薄膜新材料

[12p-N203-11] 大気開放型CVD法-Al₂O₃膜のアニールに伴う色変化

〇本田 秀理¹、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大)

キーワード：アモルファスAl2O3、色度測定、大気開放型CVD

大気開放型CVD法を用いて、Al(acac)₃を原料に製膜した時、多結晶Al₂O₃基板上に茶色の平滑なアモルファスAl₂O₃膜が作製できる。色の定量的な評価には一般に色度計が用いられ、L*u*v*表色系等を用いて色差等が比較される。L*u*v*表色系ではL*は明度、u*v*は白色照明光源の座標を原点として、物体の色度評価が可能となる。大気開放型CVD法により多結晶Al₂O₃基板上に作製したアモルファスAl₂O₃膜と、これを大気雰囲気下でアニールした試料について、色度評価を行った。