[12p-N203-1~12] 6.4 薄膜新材料

[12p-N203-4] ポストアニールによるZnMnGaO4薄膜のナノチェッカーボード構造の制御

〇(M2)森下 和樹¹、堀出 朋哉¹、堀部 陽一¹、石丸 学¹、松本 要¹ (1.九工大)

キーワード：ナノ構造、パルスレーザー蒸着法、薄膜

パルスレーザー蒸着法を用いて，ZnMnGaO4膜を作製した。ポストアニールによりナノチェッカーボード構造を形成し，透過型電子顕微鏡でナノ構造を観察した。これらの結果をもとに，ナノチェッカーボード構造の形成メカニズムについて考察した。