[12p-N203-1~12] 6.4 薄膜新材料

[12p-N203-6] 準安定相ペロブスカイト型タンタル酸カルシウム薄膜の構造解析

〇川口 昂彦¹、杉田 真由子¹、坂元 尚紀¹、鈴木 久男¹、脇谷 尚樹¹ (1.静大院工)

キーワード：PLD、誘電体、ペロブスカイト

薄膜化などにより安定化される準安定相は、従来材料を超える高い性能を有する可能性を秘めており、様々な研究分野で注目を集めている。CaO-Ta₂O₅の状態図ではCa/Ta~1の組成でパイロクロア相(Ca₂Ta₂O₇)が安定相であるが、我々はダイナミックオーロラPLD法(磁場印加PLD法)によりこの組成の薄膜を作製することでペロブスカイト相となることを見出した[1]。また、この薄膜は室温において常誘電体であるにも関わらず、500を超す比較的高い誘電率を示すことが明らかになった。しかし、単純なペロブスカイト構造であればタンタルは4価の可能性があるが、その場合は導電性が期待されるため実験結果と矛盾する。そこで今回我々は、得られたペロブスカイト型タンタル酸カルシウム薄膜の構造解析を試みた。