[12p-N203-1~12] 6.4 Thin films and New materials

[12p-N203-8] ITO transparent conductive film formed by microwave heating technique under various atmospheres

〇Kyosuke Toda¹, Naoma Konishi¹, Kanta Naito¹, Masayuki Okuya¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:microwave heating, ITO, dye-sensitized solar cell

本研究室ではこれまでに、マイクロ波照射下にお ける金属酸化物の自己発熱を利用した ITO 透明導電膜の作製を報告した。本研究では、この手法に雰囲気制御を加え、ITO 透明導電膜の電気特性および、 光学特性の最適化を試みた。