[12p-N203-1~12] 6.4 薄膜新材料

[12p-N203-8] マイクロ波加熱法を利用したITO透明導電膜の作製における雰囲気の検討

〇戸田 恭輔¹、小西 直磨¹、内藤 貫太¹、奥谷 昌之¹ (1.静岡大院工)

キーワード：マイクロ波加熱、ITO、色素増感太陽電池

本研究室ではこれまでに、マイクロ波照射下にお ける金属酸化物の自己発熱を利用した ITO 透明導電膜の作製を報告した。本研究では、この手法に雰囲気制御を加え、ITO 透明導電膜の電気特性および、 光学特性の最適化を試みた。