[12p-N206-1~19] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [12p-N206-18] 色素増感太陽電池の応用のためAZO基板上に酸化亜鉛光電極の作成

〇(B)山下 竜生¹、Li Chaoyang¹ (1.Kochi Univ. of Tech.)

キーワード：酸化亜鉛、ナノロッド、色素増感太陽電池

本研究では酸化亜鉛を電極として色素増感太陽電池の開発を目指す.スパッタリング法でガラス上にAZO薄膜を300nm成膜、その上にZnO薄膜を300nm成膜した。その後、熱処理温度を430℃としてナノロッドの成長を行った。SEMからは酸化亜鉛の均一性粒子サイズとAZO上にZnO薄膜の垂直方向への成長が確認できた。X線回折の結果よりZnO/AZO薄膜はAZO薄膜に比べ結晶性の改善がみられた。二層薄膜では82%の高透過率が得られた。