[12p-N304-1~14] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[12p-N304-13] 中性無電解銅めっき速度の臭素濃度依存性

〇沢藤 友哉¹、杉浦 修¹ (1.千葉工大工)

キーワード：中性無電解銅めっき、銅配線