[12p-N305-1~14] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[12p-N305-10] 酸素中熱処理によるNiO/β-Ga₂O₃ダイオードの高耐圧化

〇中込 真二¹、佐藤 将哉¹、千葉 遼渡¹、矢野 浩司² (1.石巻専修大理工、2.山梨大工)

キーワード：酸化ガリウム、酸化ニッケル、ダイオード

我々はp形伝導性を示す数少ない酸化物半導体NiOに着目し、NiO/β-Ga₂O₃ヘテロ接合ダイオードを開発している。今回, 基板を酸素中で熱処理することで高耐圧化を図ったので報告する。逆方向1000Vで1nA以下であり、フロリナート滴下状態で1400Vを確認した。