[12p-N305-1~14] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[12p-N305-7] N極性およびGa極性GaN MIS構造の界面特性の比較検討

〇後藤 高寛¹、須賀 達士¹、宮本 恭幸¹ (1.東工大)

キーワード：GaN MISキャパシタ