[12p-S301-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

△ [12p-S301-13] 高温(80℃)におけるダイヤモンド電解質溶液ゲートFETとのステンレス容器でのpH sensitivity

〇野本 玲於奈¹、川口 柊斗¹、佐藤 弘隆¹、寳田 晃翠¹、張 育豪¹、川原田 洋^1,2 (1.早大、2.早大材研)

キーワード：ダイヤモンド、FET、pHセンサ

本研究では、高温溶液(80 ℃)において、酸素終端ダイヤモンドSGFETのpH感応性を検証した。ゲート電極にはガラス電極(Ag/AgCl)、ステンレス製容器(Vessel Gate)を用いた。
結果は、ゲート電極がAg/AgCl の場合pHに低感応となった。そこで、pH高感応なVessel Gate と組み合わせることによって、-50mV/pH というネルンスト応答に迫る高pH感応性を得られた。