[13a-N205-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ

[13a-N205-12] 低レート成膜用水晶式膜厚計の開発

〇古泉 秀樹¹、長田 佑介¹、若本 悟²、千葉 貴之³、城戸 淳二³ (1.昭和真空、2.アドバンテスト、3.山形大院有機)

キーワード：有機EL、低レート、膜厚計