[13a-N207-1~11] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

△ [13a-N207-9] Laser Ablation of Stretchable Transparent Electrodes and Its Application to High-Resolution Capacitive Sensors

〇(B)Shun Sato¹, Tokihiko Shimura¹, Kaoru Yamashita¹, Shuma Abe¹, Taizo Tominaga¹, Minoru Ashizawa², Hiroki Ishikuro¹, Naoji Matsuhisa^1,3 (1.Keio Univ., 2.Tokyo Tech., 3.JST PRESTO)

Keywords:stretchable electronics, sensor, laser

UVレーザアブレーション法を用い，伸縮性透明導電性高分子材料を，電気・機械特性の劣化なく数十µmもの高解像度でパターニングすることに成功した．さらに薄膜の伸縮性絶縁膜と集積化し，容量型の歪センサとタッチセンサを作製した．歪センサは100％もの大変形に対しても線形応答を示し，タッチセンサは十分な容量変化を示した．作製したセンサは次世代ヒューマンコンピュータインターフェースとしての活用が期待される．