[13a-N301-1~6] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [13a-N301-1] バイモーダルqPlus AFMによる摩擦異方性検出の実証

〇山田 祐也¹、一井 崇¹、宇都宮 徹¹、木村 邦子²、小林 圭²、山田 啓文²、杉村 博之¹ (1.京大院材工、2.京大院電子工)

キーワード：原子間力顕微鏡、qPlusセンサ、ナノトライボロジー

これまでに，我々は，qPlusセンサの共振モードを解析し，長い探針を取り付けた場合に探針先端が１次共振で垂直に，高次共振で水平に振動することを示した．しかし，高次共振によって水平方向の相互作用を検出可能か検証が必要であった．そこで，今回我々は，バイモーダルqPlus AFMで摩擦異方性を持つ試料を分析することで，高次共振によって摩擦に由来するエネルギー散逸を検出できるかどうかを検証したので，これを報告する．