[13a-N307-1~11] 17.3 層状物質

[13a-N307-5] 二硫化タンタルの酸化によるゲート誘電体を用いたFETの作製

〇竹内 颯¹、浦上 法之^1,2、橋本 佳男^1,2 (1.信州大、2.信州大　先鋭材料研)

キーワード：層状物質