10:00 〜 10:15 [13a-N307-5] 二硫化タンタルの酸化によるゲート誘電体を用いたFETの作製 〇竹内 颯1、浦上 法之1,2、橋本 佳男1,2 (1.信州大、2.信州大 先鋭材料研)