[13a-N323-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[13a-N323-3] ヘリウムプラズマ照射によるバナジウム薄膜へのナノ構造形成

〇(M2)江田 智樹¹、梶田 信²、大野 哲靖¹、田中 宏彦¹ (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：プラズマナノ加⼯、表⾯処理・表⾯改質・表⾯修飾、薄膜ナノ構造